
滑阀真空泵,简称滑阀泵,是一种油封式机械泵,属于变容式气体传输泵。 它用于抽除密封容器中的一般性气体或含有少量可凝性气体,可单独使用,也可作为油扩散泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵。该泵广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、真空热处理、真空浸渍等领域。
滑阀泵有单级和双级两种型式,如单级H型和双级2H型。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa;双级泵的极限压力≤0.06Pa。 其抽速范围较大(8~1000 L/s),容量比旋片泵大得多,因此常被用在大型真空设备上。
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