半导体行业需要真空泵做什么，真空泵在半导体中的应用有哪些？ 时间：2026-08-04 13:13:00 浏览：963次 应用很多，没有真空泵，那个厂就没阀生产，简单可以分为: PECVD ，气相物理（化学）沉积，工艺真空：用于一些真空吸笔，测试设备，机械手等， 清扫真空：自动化的清洁设备 等等真空就后道封装来说主要是用在装片工序,用来把芯片吸起来放到框架上去,键合工序也要用到,其它的好像不怎么用的到,成品的测试设备主要是用压缩空气,不是真空. 标签：真空泵,半导体
