洁净烘箱，又称无尘烘箱，是一种提供高温净化环境的专用设备，主要用于半导体、电子元件、医药、食品加工等行业的无尘干燥与热处理，也适用于烘烤有化学性气体及食品加工行业的欲烘烤物品 。其工作室内壁采用镜面不锈钢材质，外壳可选冷轧钢板或全不锈钢结构，配备耐高温高效空气过滤系统，确保内部洁净度达到Class 100至Class 10000等级，最高可达Class 100等级 。
该设备采用PID智能温控系统，温度控制精度达±0.1℃，均匀性±2℃，温度波动度可达±0.5℃（空载），工作温度范围覆盖常温至400℃ 。双风道循环结构结合耐高温电机强制送风，保障温度均匀分布 。通过高效的空气过滤系统、良好的密封性能及正压维持系统，可有效防止外部污染进入，保持内部洁净环境 。安全装置包括超温保护、漏电保护及泄压安全门，部分型号支持氮气循环以隔绝氧化 。控制系统配备数显界面与定时功能，适用于硅片烘烤、基板应力去除、油墨固化、漆膜烘干等精密制造工艺 。该设备严禁烘烤易燃、易爆及挥发性物品 。
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